光掩模版/MEMS/玻璃基高密度基板;
晶圆先进封装-玻璃间隔晶片;Mini/Micro LED
显示面板玻璃衬底;折叠屏等进行激光诱导钻通孔、盲孔" />
定制皮秒/飞秒激光器,出光稳定
激光飞行脉冲打点,同时兼容单点/旋切钻孔工艺,效率高
集成优异的软件算法,自动优化激光打点及切割的路径及方向
可兼容产品漏点视觉检测功能,提供产品漏点数据对接接口及预留检测工位,实行补点功能无缝对接
技术指标 | |
激光器 | 超快皮秒/飞秒激光 |
加工产品尺寸 | X/Y: 350×350mm 12寸玻璃晶圆 |
加工玻璃厚度 | 100-1500μm |
聚焦光斑直径 | <3μm |
UPH | ≥5000孔/秒 |
平台定位精度 | ≤±2μm |
重复定位精度 | ≤±1μm |
视觉配置 | 1000万像素 |